生產(chǎn)太陽(yáng)能電池時(shí)，晶片要虛線蝕刻干凈，或者清除掉一個(gè)特定的晶圓層。因此，潤(rùn)濕劑，多數(shù)用異丙醇(IPA)，會(huì)被加到蝕刻劑溶液中以降低表面張力。工藝過(guò)程的問(wèn)題是：蝕刻過(guò)程的對(duì)流會(huì)引起異丙醇的快速蒸發(fā)，蝕刻劑的表面張力增加，蝕刻工藝的質(zhì)量降低。因此，為了將蝕刻劑中異丙醇的濃度控制在規(guī)定范圍內(nèi)，就必須監(jiān)測(cè)動(dòng)態(tài)表面張力以得知異丙醇的濃度。而靜態(tài)表面張力的測(cè)量法例如拉環(huán)法和吊片法對(duì)于這種在生產(chǎn)過(guò)程中分析不適用。

德國(guó)SITA公司的創(chuàng)新的氣泡壓力法表面張力儀由于可以精確、快速的測(cè)量動(dòng)態(tài)表面張力，而幫助各領(lǐng)域的應(yīng)用找到較佳的解決方案。在下圖中您可以看到動(dòng)態(tài)表面張力和異丙醇濃度的關(guān)系。手持式表面張力儀SITA DynoTester+和在線表面張力系統(tǒng)SITA ST對(duì)監(jiān)測(cè)蝕刻劑來(lái)說(shuō)是最合適的檢測(cè)設(shè)備。

SITA Dyno Tester 表面張力儀是靈活、輕便的可以輕松快速的測(cè)量蝕刻劑溶液表面張力的設(shè)備，無(wú)需任何專(zhuān)業(yè)操作經(jīng)驗(yàn)。所得的測(cè)量數(shù)據(jù)可以與所需的值對(duì)比，得出異丙醇濃度是否還在規(guī)定范圍之內(nèi)。如果超出范圍，可以通過(guò)快速的額外增加劑量增加濃度解決問(wèn)題。

動(dòng)態(tài)表面張力與IPA濃度的關(guān)系

設(shè)備的USB端口可以將數(shù)據(jù)傳輸?shù)诫娔X上，電腦也可以作為一個(gè)外接電源。SITA 動(dòng)態(tài)表面張力儀對(duì)清洗池槽液中表面活性劑濃度的進(jìn)行測(cè)量的較佳儀器。

在一些領(lǐng)域的應(yīng)用中，我們需要對(duì)槽液表面活性劑濃度進(jìn)行連續(xù)在線監(jiān)測(cè)，是影響蝕刻質(zhì)量的重要因素。SITA公司提供在線表面張力檢測(cè)系統(tǒng)SITA ST作為解決方案，它可以自動(dòng)定時(shí)的測(cè)量清洗液的表面張力，自動(dòng)將測(cè)得的表面張力數(shù)據(jù)與限定值作對(duì)比。因此我們可在異丙醇濃度超出限定值后，在短時(shí)間內(nèi)采取相關(guān)處理措施。而且，可節(jié)省監(jiān)測(cè)異丙醇濃度方面的人力資源。

德國(guó)SITA公司的表面張力儀可以可靠地監(jiān)測(cè)異丙醇濃度，達(dá)到高質(zhì)量的蝕刻工藝和避免異丙醇過(guò)量。